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我國的空氣潔凈工程技術起始于20 世紀50年代中期，至今大致經歷了四個發展階段:
(1) 從20世紀50年代中期到60年代中期，主要借鑒前蘇聯的技術，服務于國防、航天、原子能工業與科研。與現代潔凈工程技術相比，在廠房、設備、氣流組織等各方面還都比較原始和粗糙，屬于起步階段。
(2) 從20世紀60年代中期到70年代后期，由于國內外的種種原因，主要靠自力更生發展。當時參照了美國和日本的標準和技術，逐步研制成高效過濾器和鈉焰法試驗臺(1965年)、潔凈工作臺(1967 年)、粒子計數器(1974 年)、裝配式潔凈室(1976年)及其他潔凈室附屬設備(風淋室、傳遞窗、余壓閥等)，編制了“空氣潔凈技術措施”，奠定了我國潔凈技術的基礎。
(3) 從20世紀70年代末到80年代末，由于實行了改革開放的國策，發達國家的技術與設備開始進人我國市場，現代潔凈工程技術在我國的大規模集成電路、光導纖維、彩色顯像管、液晶顯示屏等工業潔凈領域得到迅速發展，裝備0.1um 高效過濾器的10級潔凈小室(1986年) 和無隔板過濾器(1989 年) 研制成功。同時在醫療、制藥、生物、化妝品與食品行業生物潔凈室也得到應用，一些制藥廠對原有空調系統的改造中開始采用生物潔凈技術(1978年)，簡易的水平“單向流”潔凈室和裝配式無菌病房用于醫院(1980年)，生物安全工作臺(1981年) 和細菌采樣儀(1982 年) 研制成功。1982 年我國醫藥行業GMP公布，1983 年中國電子學會潔凈工程技術分會成立，1985 年GBJ 73--1984 《潔凈廠房設計規范》頒布，我國的潔凈技術進人穩步發展階段。
(4) 從20世紀80年代末至今，在大規模集成電路領域全面引進境外資金、技術與設備，形成一批知名的國際品牌企業，潔凈室的規模越來越大，風機過濾器機組(FFU,Fan Filter Unit) 和微環境技術得到應用和推廣。在醫療和制藥領域潔凈工程技術趨向成熟與規范，生物安全技術發展迅速。包括微環境、密褶型無隔板高效過濾器(HEPA)、微計算機控制過濾器測試臺等潔凈技術相關的技術設備基本可以實現國產，同時還開始了0.1um光劉L及相關環境的研制。1999 年IS0 14644- 1潔凈室國際標準發布后，我國等同采用此國際標準的GB 50073- -2001《潔凈廠房設計規范》頒布，此后一系列有關醫藥、醫療和生物安全實驗室的國家標準陸續頒布或正在修訂和制定中。
我國的空氣潔凈工程技術經歷了50 多年的發展，已經形成相當完整的技術體系和廣闊的用市場，但還必須看到，由于種種原因，在潔凈技術的高端領域和市場，我國還存在差距、缺少話語權，還需要科技和工程技術人員的不斷努力。
